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分析機器・めっき設備

グロー放電発光分光分析装置(HORIBA製)

○めっき皮膜の深さ方向での元素分布を非常に高速・高精度で測定できる

○めっきする素材の組成や表面元素分布をICP並の高精度で分析できる

 グロー放電発光分光分析装置(Glow Discharge Optical Emission Spectrometer、以下GDOES)は、アルゴンプラズマを分析物表面に衝突させ、飛び出した原子を発光させることで、元素分析を行う方法です。

材料やめっき皮膜中の元素を分析する方法は数多くありますが、GDOESは、特に深さ方向での元素分析を得意としています。いままでの深さ方向での分析方法としては、ESCAやEPMAといった分析装置が用いられてきましたが、これらの分析装置は、表層のごく微小深さの分析には適用できますが、数ミクロンオーダーの分析(めっきや表面処理での界面領域の情報)は困難でした。GDOESの利点は、数ナノ~数ミクロンといった幅広い領域の深さ方向の分析を非常に短時間で行なうことができるという点です。迅速かつ簡単な表面分析装置・深さ方向元素分析装置として、薄膜・めっき・熱処理・表面処理などの研究開発・生産技術・品質管理の分野において、幅広い活用が期待できます。